碳化硅陶瓷承載盤   碳化硅陶瓷的特性與金剛石非常相似，它是最輕、最硬、最堅固的技術(shù)陶瓷材料之一。同時，碳化硅陶瓷具有出色導(dǎo)熱性、耐酸性和低熱膨脹性，是一款正兒八經(jīng)的半導(dǎo)體陶瓷，碳化硅陶瓷加工而成的工件貫穿了整個半導(dǎo)體行業(yè)的芯片制造過程，碳化硅陶瓷承載盤就是一款應(yīng)